Οι μικροσκοπικές κυψέλες φόρτισης είναι συσκευές μέτρησης δύναμης-ακριβείας που έχουν αναπτυχθεί με βάση την τεχνολογία μικροηλεκτρομηχανικών συστημάτων (MEMS). Ανήκοντας στην κατηγορία των μικροηλεκτρομηχανικών συσκευών, η βασική τεχνολογική ανακάλυψη τους έγκειται στη βελτιστοποίηση νανοκλίμακας των ημιαγωγών πιεζοαντιστατικών αισθητηρίων στοιχείων.
Οι μικροσκοπικές κυψέλες φορτίου επιτυγχάνουν κατά κύριο λόγο τη μέτρηση παράγοντας ηλεκτρικά σήματα μέσω της μηχανικής παραμόρφωσης ενός μικροσκοπικού διαφράγματος. Το εξάρτημα πυρήνα χρησιμοποιεί ένα μετρητή καταπόνησης MEMS. Αυτοί οι αισθητήρες μπορούν να μικροποιηθούν σε μέγεθος μερικών χιλιοστών και να ζυγίζουν μόνο λίγα γραμμάρια. Η τεχνολογία σύνθετης συσκευασίας χρησιμοποιεί δομή σιλικόνης-μεταλλικού διπλού-του στρώματος, παρέχοντας προστασία από την υγρασία και τη σκόνη ενώ ελέγχεται η μετατόπιση της θερμοκρασίας εντός ±0,005%/ βαθμό.
Οι μικροσκοπικές κυψέλες φορτίου περιλαμβάνουν δύο κύριους τύπους: μικροσκοπικούς αισθητήρες πίεσης και μικροσκοπικούς επιταχυνσιόμετρους. Μπορούν να ενσωματωθούν σε έξυπνες φορητές συσκευές (όπως λειτουργίες παρακολούθησης βάρους σε έξυπνα ρολόγια), ηλεκτρονικά είδη ευρείας κατανάλωσης (όπως κουμπιά ευαίσθητα στην πίεση-στα smartphone), ζύγιση γραμμής βιομηχανικής παραγωγής, μέτρηση συσκευασίας, αναλογία υλικού και ιατρικό εξοπλισμό (όπως συστήματα ανάδρασης κοινής δύναμης σε χειρουργικά ρομπότ), επεκτείνοντας τα όρια εφαρμογής των κυψελών φορτίου.